Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений

М.: Наука, 1981. — 322 с. Монография отражает последние достижения одной из наиболее интересных областей применения металлоорганических соединении – получение пленок металлов, нитридов, карбидов, оксидов металлов и полупроводниковых материалов термическим разложением металлоорганических соединений. Рассмотрены теоретические основы процесса осаждения покрытий, особенности их структуры и морфологии, приводится технология получения пленок. Книга предназначена для научных сотрудников, работников различных отраслей промышленности , преподавателей, аспирантов и студентов вузов.